退火爐

      退火爐設備用于改善單晶材料的品質，系統配備有抽真空、充氣、加熱和溫控系統，能對腔室內的溫度及真空度進行控制和監測，利用質量流量控制器控制氣體的流量。系統主要有機架、加熱爐、真空系統、充氣系統等幾大部分組成。
      材料提純設備概述:
      為晶體生長的前道工藝設備，為材料提純設備，確保材料最終的純度到達7N(99.99999%)標準，設備借鑒烏克蘭提純設備的原理，結合客戶的工藝研發的設備：分區熔爐和精餾爐，通過這2種工藝設備最終獲得半導體級的高純材料;